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目前針對(duì)工業(yè)廢氣處理，有機(jī)廢氣處理的方法主要有物理法、化學(xué)法、生物法，包括吸附、直接燃燒、催化燃燒、化學(xué)氧化、生物濾池等處理手段，現(xiàn)階段目前針對(duì)有機(jī)廢氣處理工藝主要有：隔離法、燃燒法、吸收法、冷凝法、等離子低溫催化氧化法、吸附法等。
1、廢氣處理隔離法：是通過特種過濾材料，置放於廢氣外排過程，經(jīng)機(jī)械隔離，從而達(dá)到廢氣治理效果。
優(yōu)點(diǎn)：對(duì)霧狀膠煙治理效率高，無技術(shù)要求，操作簡(jiǎn)單。
缺點(diǎn)：不能有效去除有機(jī)物，風(fēng)阻大。
2、廢氣處理燃燒法：利用加熱高溫的方法，將有機(jī)廢氣直接燃燒處理，以達(dá)到廢氣凈化的目的。
優(yōu)點(diǎn)：凈化效率高，可達(dá)95%以上。
缺點(diǎn)：需要大量熱能，需要消耗大量能源，也易在高溫下生成NOX等造成二次污染。
3、廢氣處理吸收法：利用吸收液與廢氣相互接觸，使廢氣中的有害物質(zhì)溶入吸收液中，從而使廢氣得以凈化。吸收液另行處理。
優(yōu)點(diǎn)：投資小，運(yùn)行費(fèi)用低，操作簡(jiǎn)單。
缺點(diǎn)：處理效率低，不穩(wěn)定，凈化效率不高，約為50%，難於達(dá)到相關(guān)環(huán)保要求，適合低濃度有機(jī)廢氣，有二次污染。
4、廢氣處理冷凝法：通過冷凝降溫，當(dāng)溫度低于有害物質(zhì)的凝結(jié)點(diǎn)時(shí)，氣態(tài)的有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為液態(tài)，從空氣中分離出來，從而凈化。
優(yōu)點(diǎn)：運(yùn)行穩(wěn)定，凈化效率高。
缺點(diǎn)：投資較大，對(duì)環(huán)境及操作人員要求較高，且能耗過大，運(yùn)行費(fèi)用高。
5、等離低溫催化氧化法：等離子體是物質(zhì)存在的除固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之外的第四種狀態(tài)，具有宏觀度內(nèi)的電中性與高導(dǎo)電性。等離子體中含有大量的活性電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撣的結(jié)果，產(chǎn)生大量的強(qiáng)氧化性自由基O·、OH·、HO2 和氧化性很強(qiáng)的O3;有機(jī)物分子受到高能電子碰撞，被激發(fā)及原子健斷裂而形成小碎片基團(tuán)或原子;O·、OH·、HO2、O3等與激發(fā)原子、有機(jī)物分子、基團(tuán)、自由基等反應(yīng)，使有機(jī)物分子氧化降解為CO、CO2和HO2。
優(yōu)點(diǎn)：廣泛適用性，適合于處理低濃度(〈1～1000ppm〉)、劇毒劇臭的有害氣體，彌補(bǔ)了其他技術(shù)無法處理的空白。以及操作簡(jiǎn)單。
缺點(diǎn)：?jiǎn)为?dú)的低溫等離子體技術(shù)在處理有害氣體時(shí)還是有其欠缺的地方，如不能完全徹底地把有害氣體轉(zhuǎn)化為無害氣體，副產(chǎn)物較多;且在氧等離子體下產(chǎn)生大量的臭氧;能耗較高;脫除效率較低等。
6、活性炭吸附裝置吸附法：利用多孔性的活性炭、硅澡土、無煙煤等分子級(jí)的大表面剩余能，將有機(jī)氣體分子吸附到其表面，從而凈化。
優(yōu)點(diǎn)：處理效率高(活性炭吸附可達(dá)99%以上)，適用廣泛，操作簡(jiǎn)單，投資費(fèi)用低，運(yùn)行費(fèi)用相對(duì)較低。
缺點(diǎn)：系統(tǒng)風(fēng)壓損失大，吸附劑的飽和點(diǎn)難掌握，吸附劑容量有限。
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